一、設(shè)備開機(jī)

1、打開原子力顯微鏡主機(jī)電源。

2、開啟電腦、運(yùn)行軟件。

3、在軟件界面點(diǎn)擊SPM init進(jìn)行設(shè)備初始化，如顯示SPM OK可繼續(xù)操作，如不顯示SPM OK重啟軟件。

4、點(diǎn)open door開操作門，點(diǎn)燈泡按鈕照亮。

二、樣品準(zhǔn)備

1、將表面潔凈樣品使用專用雙面膠粘貼至設(shè)備配備的圓形載物片上(Z好兩個(gè)臺(tái)子一起使用，以便旋轉(zhuǎn)樣品)。

2、通過檢測(cè)組件上的按鈕或者軟件點(diǎn)open door開啟樣品室艙門，點(diǎn)燈泡按鈕照亮，點(diǎn)擊軟件界面上的AFM-STM退針鈕使顯微鏡探頭縮回。

3、使用專用鑷子將樣品連同載物片放入磁性樣品臺(tái)上，小心調(diào)整樣品區(qū)域之中間。小心不要碰觸探頭、激光源等。

4、點(diǎn)擊AFM原子力顯微鏡軟件界面的AFM-STM使探頭移回。關(guān)閉艙門。

三、操作程序

1、運(yùn)行軟件的camera功能。

2、運(yùn)行軟件的aiming功能。

3、運(yùn)行AFM鈕，使針頭伸出。

4、運(yùn)行軟件的Resonance功能，選擇semicontact模式，在probes里選擇對(duì)應(yīng)針尖，點(diǎn)擊Auto，調(diào)節(jié)探針懸臂的共振頻率。

5、運(yùn)行l(wèi)anding，觀察way值變化。

6、運(yùn)行軟件的Approach功能，自動(dòng)完成下針。使探針下降至檢測(cè)距離。

7、點(diǎn)擊Scanning按鈕，開始樣品掃描，掃描圖樣將自動(dòng)保存至指定文件夾。

注意：①除去掃描過程，其他改變?nèi)魏纬绦蚧蛞苿?dòng)樣品的操作都應(yīng)先關(guān)閉反饋鍵使ON變?yōu)镺FF。②取放樣品時(shí)均應(yīng)首先軟件操作使探頭縮回。③原子力顯微鏡掃描結(jié)果的優(yōu)劣決定于當(dāng)前探針狀態(tài)(是否斷針和污染)和所選用的反饋靈敏度Gain。在確保不損傷儀器以及珍貴探針的情況下進(jìn)行優(yōu)化調(diào)節(jié)。④AFM原子力顯微鏡掃描過程中需要大幅移動(dòng)樣品，應(yīng)當(dāng)在Approach功能區(qū)將樣品臺(tái)下降至足夠的高度，防止損傷探針。

四、換樣品及關(guān)機(jī)程序

1、關(guān)閉反饋鍵off。

2、運(yùn)行Approach藍(lán)色move使樣品下降，一般點(diǎn)擊3-4次。

3、軟件控制縮回探頭，樣品取出(如果是換下一個(gè)樣品，則重復(fù)二、三中的步驟，如果測(cè)試完畢，則繼續(xù)以下步驟)、關(guān)閉艙門。

4、關(guān)閉軟件及電腦。

5、關(guān)閉原子力顯微鏡主機(jī)電源。