納米科技在現(xiàn)代社會發(fā)展中起著越來越重要的作用，納米科技的發(fā)展離不開高分辨表面分析工具的發(fā)展，原子力顯微鏡憑借其超高分辨率成為研究納米科技的有力工具在各領域有著廣泛應用，其不僅可以用于物質表面結構、表面摩擦學和材料力學、電學性能的研究，還可以用于原子操縱、物質的納米級加工等。納米位移臺是AFM原子力顯微鏡的核心部件，其性能直接決定了原子力顯微鏡的分辨率性能。

AFM原子力顯微鏡工作原理

當探針**與樣品表面間的距離達到一定時會引起原子力的變化，在相互作用力的影響下懸臂發(fā)生偏轉，通過光電檢測器將懸臂的偏轉信息由光信號轉換為電信號，經過反饋電路，將此電信號與預期值進行對比，控制壓電陶瓷掃描器運動，記錄壓電陶瓷在Z向的位移值，結合壓電陶瓷掃描器XY方向的運動，可以得到樣品的表面形貌圖。

由原子力顯微鏡工作原理、探針與樣品間的相互作用力及掃描方式可知，當AFM探針針尖與待測樣品表面的距離達到納米級時，懸臂探針與樣品表面原子之間才能產生穩(wěn)定的原子力，用于探測樣品表面的形貌。